電子束鍍膜機(jī)是(shì)目前製作真空條件應(yīng)用最為廣泛的(de)真空設備(bèi) ，一般用真空室 、真空機(jī)組(zǔ) 、電氣(qì)控制櫃三大(dà)部分組(zǔ)成 ，排氣(qì)系統採用“擴散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫(wēn)冷阱+polycold”組(zǔ)成 。本公(gōng)司專業從事真空鍍膜設備(bèi)的(de)研(yán)發與生(shēng)產擁(yōng)有經驗豐富的(de)技術團隊及優質的(de)售後服(fú)務隊伍為您解決設備(bèi)在使用過程中(zhōng)遇到的(de)任何(hé)問題 。下面 ，詳細介紹電子束鍍膜機(jī)的(de)各(gè)部分組(zǔ)成及其(qí)工(gōng)作原理 。

　　電子束鍍膜機(jī)真空主體——真空腔根據加工(gōng)產品要求的(de)各(gè)異 ，真空腔的(de)大(dà)小也不(bù)一樣 ，目前應(yīng)用最多的(de)有直徑1.3M 、0.9M 、1.5M 、1.8M等 ，腔體由不(bù)鏽(xiù)鋼" target=_blank>不(bù)鏽(xiù)鋼材(cái)料製作 ，要求不(bù)生(shēng)鏽(xiù) 、堅實等 ，真空腔各(gè)部分有連接閥 ，用來連接各(gè)抽氣(qì)泵浦 。

　　輔助抽氣(qì)系統 ：排氣(qì)系統為鍍膜機(jī)真空系統的(de)重要部分 ，主要有由機(jī)械泵 、增壓泵(主要介紹羅茨泵) 、油擴散泵三大(dà)部分組(zǔ)成 。此排氣(qì)系統採用“擴散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫(wēn)冷阱+polycold”組(zǔ)成 。排氣(qì)流程為 ：機(jī)械泵先將真空腔抽至(zhì)小於2.0*10-2PA左右的(de)低真空狀(zhuàng)態 ，為擴散泵後繼抽真空提供前提 ，之後當擴散泵抽真空腔的(de)時候 ，機(jī)械泵又配合油擴散泵組(zǔ)成串聯 ，以這樣的(de)方式(shì)完(wán)成抽氣(qì)動作 。

　　電子束鍍膜機(jī)機(jī)械泵 ：也叫前級泵 ，機(jī)械泵是(shì)應(yīng)用*泛的(de)一種低真空泵 ，它(tā)是(shì)用油來保持(chí)密封效果(guǒ)並依靠機(jī)械的(de)方法不(bù)斷的(de)改變(biàn)泵內吸氣(qì)空腔的(de)體積 ，使被抽容器內氣(qì)體的(de)體積不(bù)斷膨脹從而獲得真空 。