電(diàn)子(zǐ)束蒸發系(xì)統是化合物半導體器件製作(zuò)中(zhōng)的(de)一種(zhǒng)重要工藝技術(shù) 。它是在高真空狀態(tài)下由電(diàn)子(zǐ)束加熱坩堝中(zhōng)的(de)金屬 ，使其熔融後蒸發到所需基片上形成(chéng)金屬膜 。可蒸發很多難熔金屬或(huò)者(zhě)蒸汽壓(yā)低的(de)金屬材料
，包括(kuò)Ta , W , Mo , Rh , C , B , Pt , Al2O3 , ZnO , Pr2O3…VS5電(diàn)子(zǐ)束蒸發鍍膜機是英國(guó)牛津真空公司(sī)生產(chǎn) ，台式設計 、軟件自動操控 、高性價比 ，非常適合實驗室科研使用 。