牛(niú)津電(diàn)子束(shù)鍍膜機是化合物(wù)半導體(tǐ)器件製作中的一種(zhǒng)重要工藝技術(shù) 。它是在高(gāo)真空(kōng)狀(zhuàng)態下由電(diàn)子束(shù)加熱坩堝中的金屬 ，使其熔融後蒸發到所需基片上形成金屬膜 。

　　1 、定期清潔真空(kōng)室並盡量抹乾(gàn) ，每次都(dōu)*洗乾(gàn)淨 ，以免造成越來越難洗的現象 。烘乾(gàn)後再鍍膜 ，頭(tóu)一爐(lú)應比原來延(yán)長四(sì)倍時(shí)間才鍍膜 。

　　2 、定期更換(huàn)擴散泵油 ，更換(huàn)真空(kōng)泵及羅茨泵油 。更換(huàn)擴散泵油前一定要確認真空(kōng)度(dù)是否低於(yú)1X102Pa ，擴散泵裡面(miàn)的油溫(wēn)是否*冷卻到常(cháng)溫(wēn)狀(zhuàng)態後 ，方(fāng)可(kě)進行加熱或(huò)充大氣進行拆卸(xiè) ，否則會產生傷害人的嚴重後果 。

　　3 、平(píng)時(shí)整個系統要保持真空(kōng)狀(zhuàng)態 ，工作前才充入氣體(tǐ) ，不要使真空(kōng)室長期暴露在大氣中 。

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、牛(niú)津電(diàn)子束(shù)鍍膜機經(jīng)常(cháng)檢查膠(jiāo)封是否良好 ，特別(bié)是動(dòng)密封圈 ，定期給(gěi)動(dòng)密封處(chù)加上真空(kōng)脂 。

　　5 、定期檢查電(diàn)氣元件 ，清除灰塵 ，更換(huàn)燒壞的元器件 。

　　6 、在真空(kōng)狀(zhuàng)態下不得拆卸(xiè)擴散泵和(hé)閥門 。拆卸(xiè)的方(fāng)法是 ：先將整個真空(kōng)系統抽至真空(kōng)狀(zhuàng)態 ，注意不要加熱擴散泵 ，用手(shǒu)動(dòng)打開精(jīng)抽閥 ，然後按放氣閥按鈕讓系統充入大氣 ，當真空(kōng)室充滿大氣後就可(kě)進行拆卸(xiè)擴散泵和(hé)閥門 。

　　7 、停旋片泵 、滑閥泵時(shí) ，要注意電(diàn)磁閥(或(huò)氣動(dòng)閥)是否向(xiàng)泵腔充氣 ，否則會引起回油 ，污染真空(kōng)管道 。因此 ，電(diàn)磁閥(或(huò)氣動(dòng)閥)充氣動(dòng)作失靈時(shí) ，必須及時(shí)進行修理或(huò)更換(huàn) 。

　　8 、對於(yú)偏北(běi)地(dì)區 ，在寒冷季節 ，夜間和(hé)較長時(shí)間停機時(shí) ，必須用壓縮(suō)氣體(tǐ)將冷卻水趕出冷卻管道 、泵體(tǐ) ，以免凍裂冷卻水管(套)和(hé)泵體(tǐ) 。

　　9 、精(jīng)抽系統要待真空(kōng)壓強達(dá)到3Pa後才能工作 ，若在過(guò)高(gāo)的壓強下進行抽氣 ，會使擴散泵油氧化 ，降低抽氣能力(lì) ，縮(suō)短泵油的使用壽(shòu)命(mìng) 。

　　10 、為保證真空(kōng)鍍膜設備有清潔的工作環境 ，滑閥泵排出的氣體(tǐ)必須用管道將它排出工作房(fáng)之(zhī)外 ，因為從滑閥泵排出的氣體(tǐ)含有很多(duō)微(wēi)小(xiǎo)的油霧會污染被鍍的工件 ，嚴重影響膜層的質量 。

　　11 、牛(niú)津電(diàn)子束(shù)鍍膜機在工作過(guò)程中不得斷水 ，採用的冷卻水必須清潔 ，不得使用硬水或(huò)濁水作為冷卻水 ，否則會使冷卻水管沈積(jī)一層水垢 ，影響冷卻效果 。