全自動半(bàn)自動探(tàn)針台可以固定晶圓或芯片
，並精確定位待測物
。手動探(tàn)針台的使用者將探(tàn)針臂和探(tàn)針安(ān)裝到(dào)操縱器(qì)中
，並使用顯微(wēi)鏡(jìng)將探(tàn)針頂(dǐng)端放(fàng)置到(dào)待測物上的正確位置
。一(yī)旦所(suǒ)有探(tàn)針頂(dǐng)端都被設置在(zài)正確的位置
，就(jiù)可以對待測物進行測試(shì)
。對於帶有多個芯片的晶圓
，使用者可以抬起壓(yā)盤
，壓(yā)盤將探(tàn)針頭與(yǔ)芯片分開(kāi)
，然後(hòu)將工(gōng)作(zuò)台移到(dào)下一(yī)個芯片上
，使用顯微(wēi)鏡(jìng)找到(dào)精確的位置
，壓(yā)板降低後(hòu)下一(yī)個芯片可以進行測試(shì)
。半(bàn)自動和全自動探(tàn)針台系(xì)統使用機(jī)械(xiè)化工(gōng)作(zuò)台和機(jī)器(qì)視覺來(lái)自動化這個移動過程(chéng) ，提高了探(tàn)針台生產率
。
探(tàn)針台可以將電探(tàn)針
、光學探(tàn)針或射頻探(tàn)針放(fàng)置在(zài)硅晶片上
，從而可以與(yǔ)測試(shì)儀器(qì)/半(bàn)導體測試(shì)系(xì)統配合來(lái)測試(shì)芯片/半(bàn)導體器(qì)件
。這些測試(shì)可以很簡單
，例如(rú)連續性或隔離(lí)檢查
，也可以很複雜
，包(bāo)括微(wēi)電路的完(wán)整功(gōng)能測試(shì)
。可以在(zài)將晶圓鋸成單個管芯之(zhī)前或之(zhī)後(hòu)進行測試(shì)
。在(zài)晶圓級別(bié)的測試(shì)允許(xǔ)製造商在(zài)生產過程(chéng)中多次測試(shì)芯片器(qì)件undefined
，這可以提供有關哪些工(gōng)藝步驟將缺陷引入最終產品的信(xìn)息
。它(tā)還使製造商能夠在(zài)封裝之(zhī)前測試(shì)管芯
，這在(zài)封裝成本(běn)相對於器(qì)件成本(běn)高的應用中很重要(yào)
。探(tàn)針台還可以用於研發
、產品開(kāi)發和故障分析應用
。
全自動半(bàn)自動探(tàn)針台的分類
探(tàn)針台可以按照使用類型與(yǔ)功(gōng)能來(lái)劃分
，也可以按照操作(zuò)方式來(lái)劃分成
：手動探(tàn)針台
、半(bàn)自動探(tàn)針台
、全自動探(tàn)針台
。
手動探(tàn)針台系(xì)統顧名思義是手動控制的
，這意味著晶圓載物台
、顯微(wēi)鏡(jìng)以及定位器(qì)/操縱器(qì)都是由使用者手動移動的
。因(yīn)此一(yī)般是在(zài)沒有很多待測器(qì)件需要(yào)測量或數據需要(yào)收集的情況下使用手動探(tàn)針台
。該類探(tàn)針台的優點之(zhī)一(yī)是只需要(yào)最少的培訓
，易於配置環境和轉換測試(shì)環境
，並且不需要(yào)涉及額外(wài)培訓和設置時間的電子(zǐ)設備
、PC或軟件
。由於其靈活和可變性高的特點
，非常(cháng)適合研發人員使用
。
全自動半(bàn)自動探(tàn)針台相比上述兩種(zhǒng)添加了晶圓材料處理搬運單元(MHU)和模(mó)式識別(bié)undefined(自動對準)
。負責晶圓的輸送與(yǔ)定位
，使晶圓上的晶粒依次與(yǔ)探(tàn)針接觸並逐個測試(shì)
。可以24小時連續工(gōng)作(zuò)
，通常(cháng)用於芯片量產或有一(yī)些特殊要(yào)求(qiú)如(rú)處理薄晶圓
、封裝基(jī)板等
。全自動探(tàn)針台價格(gé)也是遠比手動/半(bàn)自動探(tàn)針台要(yào)昂貴
。
