進口探針台是指應用於晶圓(yuán)製造完成後(hòu)至封裝之(zhī)前(qián)的晶圓(yuán)測(cè)試環節的一種半導(dǎo)體測(cè)試設備
,起到晶圓(yuán)輸送與(yǔ)定位的作用
,實(shí)現半導(dǎo)體芯(xīn)片的電
、光參數檢測(cè)
。
探針台的操作流程主要可以分(fèn)為晶圓(yuán)移動
、定位探針卡
、載片對針等 。在完成晶圓(yuán)測(cè)試後(hòu)
,探針台將記(jì)錄參數特(tè)性不符合要求的芯(xīn)片
,並在進入後(hòu)續工序前(qián)予以剔除(chú)
,以保障產(chǎn)品質量與(yǔ)可靠性
,降低器件產(chǎn)品的製造成本
。
進口探針台常(cháng)見的分(fèn)類(lèi)標準包(bāo)括按(àn)操作方式分(fèn)類(lèi) 、按(àn)功能分(fèn)類(lèi) 、按(àn)晶圓(yuán)尺(chǐ)寸分(fèn)類(lèi)等
,其(qí)中按(àn)操作方式可以分(fèn)為手(shǒu)動
、半自(zì)動以及(jí)自(zì)動
,按(àn)功能可以分(fèn)為高低溫
、射(shè)頻
、LCD平板
、霍爾效應
、表面(miàn)電阻率等
,按(àn)晶圓(yuán)尺(chǐ)寸可以分(fèn)為8英(yīng)寸
、12英(yīng)寸等
。
探針卡主要由PCB
、中介層
、探針頭和(hé)探針構成
。PCB線路層數因探針數量的增多而增多
,因此需(xū)要有(yǒu)很好的抗干擾特(tè)性
,以保證電信號(hào)不被噪音影響
。中介層在探針卡中起到線路放大(dà)的作用
,探針Pitch通常(cháng)在80um
,部分(fèn)產(chǎn)品Pitch可達50um
,因而無法直接與(yǔ)PCB連接
,需(xū)要通過中介層將探針對外連接的線路放大(dà)進而實(shí)現和(hé)PCB的連接
。探針頭主要用於固(gù)定探針
。
進口探針台測(cè)試座主要由探針
、浮動板
、後(hòu)蓋等材料組(zǔ)裝集合而成
;測(cè)試座的技(jì)術(shù)壁壘極低
,國內廠商主要是華(huá)南地(dì)區的低端電子零部件製造商
;測(cè)試座按(àn)照不同的被測(cè)產(chǎn)品可以分(fèn)為
:USB測(cè)試座 、CMOS模(mó)組(zǔ)測(cè)試座
、RF射(shè)頻測(cè)試夾具(jù)
、老化測(cè)試座
、SD測(cè)試座等
。