快速(sù)退火爐(lú)是用於製造半導體器件(jiàn)的工藝
,包括加熱多(duō)個半導體晶片(piàn)以影響它們(men)的電性(xìng)能
。熱處理是為不同的效(xiào)果(guǒ)而設計的
。可(kě)以加熱晶片(piàn)以激活摻雜劑
,將薄膜(mó)轉換成薄膜(mó)或晶片(piàn)襯(chèn)底界面
,密集(jí)沈積薄膜(mó)
,改變生長(zhǎng)薄膜(mó)的狀(zhuàng)態
,修復注(zhù)入的損(sǔn)傷
,將摻雜劑從一個薄膜(mó)移動或轉移到另一個薄膜(mó)
,或者從薄膜(mó)進入晶片(piàn)襯(chèn)底
。
那麼快速(sù)退火爐(lú)有哪些(xiē)類(lèi)型呢
?
一
、鋁(lǚ)合(hé)金快速(sù)退火爐(lú)
。
主要用於鋁(lǚ)合(hé)金
、鋁(lǚ)板的熱處理和均(jūn)熱退火
。
鋁(lǚ)合(hé)金快速(sù)退火爐(lú)由台(tái)車爐(lú)體
、循環系統
、導流(liú)設備
、加熱元件(jiàn)
、裝(zhuāng)料(liào)台(tái)車
、爐(lú)門(mén)升降機構和電氣控制系統組成
。
二
、井式真空快速(sù)退火爐(lú)
。
適用於圓線(sī)材和鋼(gāng)帶退火 。真空加熱退火
,不滲(shèn)氮不脫碳
,使工件(jiàn)退火後保持光亮
。真空快速(sù)退火爐(lú)主要由爐(lú)體
、爐(lú)襯(chèn)
、真空泵
、循環風機和電氣控制系統組成
。
三(sān)
、多(duō)管不鏽鋼(gāng)絲光亮快速(sù)退火爐(lú)
。
它由加熱爐(lú)
、冷卻器
、放卷機構和電控系統組成
。
主要適用於不鏽鋼(gāng)絲
、銅(tóng)線(sī)
、鐵絲等(děng)的光亮退火
。
四
、井式快速(sù)退火爐(lú)
。
適用於圓線(sī)材和不鏽鋼(gāng)線(sī)材
,拉伸(shēn)前(qián)退火
,氧化少
,無(wú)脫碳
,使工件(jiàn)退火後保持整齊
。特點
:可(kě)配(pèi)置多(duō)台(tái)爐(lú)
,多(duō)工位操作可(kě)節省人(rén)力資源(yuán)
,提高生產(chǎn)效(xiào)率(lǜ)
,節約能源(yuán)
,降低生產(chǎn)成本
。
五
、台(tái)車式快速(sù)退火爐(lú)主要用於銅(tóng)排
、鑄鋼(gāng)件(jiàn)
、汽(qì)車零(líng)部件(jiàn)
、軋輥
、鋼(gāng)球(qiú)
、金屬結構件(jiàn)及(jí)焊(hàn)件(jiàn)的正火及(jí)退火熱處理
。台(tái)車式快速(sù)退火爐(lú)主要由爐(lú)門(mén)升降和密封設備
、爐(lú)車
、爐(lú)車傳(chuán)動機構
、電加熱設備和溫度(dù)控制系統組成
。可(kě)在水平地面上使用
,無(wú)需基礎安裝(zhuāng)
。
六
、罩式快速(sù)退火爐(lú)
。
該設備可(kě)廣泛用於有色金屬銅(tóng)
、鋁(lǚ)合(hé)金
、黑色金屬
、普碳鋼(gāng)
、硅鋼(gāng)
、合(hé)金鋼(gāng)及(jí)其他卷
、卷
、線(sī)等(děng)的退火
。沒有氮化和脫碳
,使工件(jiàn)退火後能保持整齊
。該快速(sù)退火爐(lú)具(jù)有生產(chǎn)效(xiào)率(lǜ)高
、產(chǎn)品(pǐn)質(zhì)量(liàng)好(hǎo)
、能耗低
、無(wú)污(wū)染
、自動化操作
、安全可(kě)靠(kào)等(děng)優點
。罩式爐(lú)由加熱罩
、兩(liǎng)個爐(lú)座
、閥門(mén)框架和電氣控制系統組成
。
七
、網帶式不鏽鋼(gāng)快速(sù)退火爐(lú) 。
它由進料(liào)台(tái)
、加熱區
、冷卻段
、氨分解爐(lú)
、電氣控制系統等(děng)部分組成
。主要適用於各種不鏽鋼(gāng)
、銅(tóng)
、鐵製品(pǐn)在保護氣氛控制下的連續光亮退火和固溶(róng)處理
。