
相(xiàng)關(guān)文章

| 品牌 | 其他品牌 |
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QRUI-1A系列探針台簡介 :
是一款在非真空條件(jiàn)下實現高低溫(wēn)環(huán)境的測試探針台 。該產品採用氣冷制冷 ,自動控溫(wēn) ,設備(bèi)配置非常(cháng)豐富(fù) 。自帶屏蔽暗室 ,一方面(miàn)可以屏蔽無線電磁(cí)干擾 ,另外一方面(miàn)也(yě)可以保持(chí)氮氣正壓環(huán)境下樣品在低溫(wēn)時無結霜 。該產品多數用於相(xiàng)關(guān)單位(wèi)實驗室 。
QRUI-1A系列探針台產品優勢 :
可搭配高低溫(wēn)溫(wēn)控系統 ,溫(wēn)度範圍為-60-300℃
可實現半自動測試
微腔屏蔽
技術參數 | 產品型號 | QRUI-1A-150 | QRUI-1A-200 | QRUI-1A-300 |
探針台 本體(tǐ) | 電壓電流(可定(dìng)制) | 500V/1A(標準) | 500V/1A(標準) | 500V/1A(標準) |
材料 | 航空鋁 | |||
卡盤大小 | 6" ,360 度轉動 , 可微調(diào) | 8" ,360 度轉動 , 可微調(diào) | 12" ,360 度轉動 ,可微調(diào) | |
卡盤行程(chéng)和精度 | 6"*6" ,精度 1um , | 8"*8" ,精度 1um , | 12"*12 ,精度 1um | |
卡盤氣浮移動範圍 | 360 度快速移動 ,便於快速定(dìng)位(wèi) ,提(tí)高測試效率 | |||
卡盤拉出功能 | 卡盤可以快速拉出 ,拉出面(miàn)積佔比大於80% ,便於更換樣品 | |||
卡盤吸附方式 | 真空吸附 , 可選擇環(huán)形吸附或者(zhě)多孔吸附 (適用於薄片或者(zhě)射頻(pín)器件(jiàn)) | |||
背電極(jí)測試功能 | 具(jù)備(bèi) 樣品台電學獨立懸空 , 帶 4mm 香蕉頭插口 | |||
腔體(tǐ) | 帶腔體(tǐ)暗室 ,可以屏蔽外部電信干擾同時保持(chí)氮氣正壓環(huán)境下樣品在低溫(wēn)時無結霜 | |||
溫(wēn)控 | 溫(wēn)度範圍 | -60-300℃ | -60-300℃ | -60-300℃ |
溫(wēn)控精度 | 溫(wēn)度分辨(biàn)率 : 0.01°C | |||
類型 | 同軸/三同軸/高壓 | |||
低控溫(wēn)速率 | ±0.1°C /小時 | |||
制冷方式 | 氣冷 (自動控溫(wēn)) | |||
針座(zuò)平 台 | 材質 | U 型平台 , 鍍鎳 , 與探針座(zuò)之間具(jù)備(bèi)更強吸附力 | ||
大小 | 最多可放置6個(gè)探針座(zuò) | 最多可放置8個(gè)探針座(zuò) | 最多可放置8個(gè)探針座(zuò) | |
升降平台 | 二階抬桿一次性6mm ,接觸 ,分離 ;微調(diào)行程(chéng)為50mm ,分辨(biàn)率為1um | |||
顯示系 統 | 顯微鏡(jìng)成像系統 | 體(tǐ)式顯微鏡(jìng)/視頻(pín)顯微鏡(jìng)/金(jīn)相(xiàng)顯微鏡(jìng)+CCD 成像系統 | ||
倍率範圍 | 15X~100X/60X~420X/20X~4000X | |||
顯微鏡(jìng)行程(chéng) | 具(jù)備(bèi)高剛性龍門架結構 , XYZ 行程(chéng)分別(bié)為 2 英吋*2 英吋*2 英吋 , 精度 1um | |||
CCD 成像系統 | 200 萬/500 萬像素 , 幀率 60fps ,帶拍照 、 錄(lù)像 、 測量(liàng)功能 | |||
探針座(zuò) | 種類 | DMP-200/100/80/75 | ||
X-Y-Z 行程(chéng) | 12mm-12mm-12mm | |||
機械精度 | 0.5um/0.7um/2um/3um | |||
夾(jiá)具(jù) | 漏電精度 | 10pA/100fA/20fA | ||
接口形式 | 香蕉頭/鰐魚夾(jiá)/coax/triax接口/SMA/裸線等 | |||
其它(tā) | 選件(jiàn) | 屏蔽箱/防震桌/射頻(pín)/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡(jìng)/大功率 | ||
電力需求(qiú) | 220V/50HZ | |||
詳細配置方案可討論後(hòu)給出