探針台

本體(tǐ)

電壓電流（可定(dìng)制）

500V/1A(標準)

500V/1A(標準)

500V/1A(標準)

材料

航空鋁

卡盤大小

6"  ,360 度轉動 , 可微調(diào)

8"   ，360 度轉動   ，    可微調(diào)

12"  ，360 度轉動  ，可微調(diào)

卡盤行程(chéng)和精度

6"*6"   ，精度 1um ，

8"*8"   ，精度  1um ，

12"*12   ，精度 1um

卡盤氣浮移動範圍

360 度快速移動 ，便於快速定(dìng)位(wèi)  ，提(tí)高測試效率

卡盤拉出功能

卡盤可以快速拉出 ，拉出面(miàn)積佔比大於80%  ，便於更換樣品

卡盤吸附方式

真空吸附  , 可選擇環(huán)形吸附或者(zhě)多孔吸附   (適用於薄片或者(zhě)射頻(pín)器件(jiàn))

背電極(jí)測試功能

具(jù)備(bèi) 樣品台電學獨立懸空   ， 帶 4mm 香蕉頭插口

腔體(tǐ)

帶腔體(tǐ)暗室 ，可以屏蔽外部電信干擾同時保持(chí)氮氣正壓環(huán)境下樣品在低溫(wēn)時無結霜

溫(wēn)控

溫(wēn)度範圍

-60-300℃

-60-300℃

-60-300℃

溫(wēn)控精度

溫(wēn)度分辨(biàn)率   ：    0.01°C

類型

同軸/三同軸/高壓

低控溫(wēn)速率

±0.1°C   /小時

制冷方式

氣冷  (自動控溫(wēn))

針座(zuò)平

台

材質

U 型平台   ，    鍍鎳   ，    與探針座(zuò)之間具(jù)備(bèi)更強吸附力

大小

最多可放置6個(gè)探針座(zuò)

最多可放置8個(gè)探針座(zuò)

最多可放置8個(gè)探針座(zuò)

升降平台

二階抬桿一次性6mm ，接觸 ，分離 ；微調(diào)行程(chéng)為50mm ，分辨(biàn)率為1um

顯示系

統

顯微鏡(jìng)成像系統

體(tǐ)式顯微鏡(jìng)/視頻(pín)顯微鏡(jìng)/金(jīn)相(xiàng)顯微鏡(jìng)+CCD 成像系統

倍率範圍

15X~100X/60X~420X/20X~4000X

顯微鏡(jìng)行程(chéng)

具(jù)備(bèi)高剛性龍門架結構   ，    XYZ 行程(chéng)分別(bié)為 2 英吋*2 英吋*2 英吋   ，    精度 1um

CCD 成像系統

200 萬/500 萬像素   ，    幀率 60fps  ，帶拍照 、     錄(lù)像 、     測量(liàng)功能

探針座(zuò)

種類

DMP-200/100/80/75

X-Y-Z 行程(chéng)

12mm-12mm-12mm

機械精度

0.5um/0.7um/2um/3um

夾(jiá)具(jù)

漏電精度

10pA/100fA/20fA

接口形式

香蕉頭/鰐魚夾(jiá)/coax/triax接口/SMA/裸線等

其它(tā)

選件(jiàn)

屏蔽箱/防震桌/射頻(pín)/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡(jìng)/大功率

電力需求(qiú)

220V/50HZ