型號

QRUI-5-196-N

QRUI-5-196-H

外形(xíng)

900*900*600mm

1000*1000*600mm

重(zhòng)量

約(yuē)100KG

約(yuē)150KG

電力需(xū)求

AC220V ,50~60HZ

AC380V ,50~60HZ

腔體

腔體尺寸(cùn)

8英吋(cùn)  ，帶(dài)4英吋(cùn)高紅(hóng)外透射率(lǜ)觀察窗

樣(yàng)品台尺寸(cùn)

2英吋(cùn)/4英吋(cùn)

2英吋(cùn)

樣(yàng)品固定方式(shì)

真空導熱硅脂/彈簧壓片

真空度(dù)

10^-4pa最高真空

接口(kǒu)形(xíng)式(shì)

電信(xìn)接口(kǒu)  ，真空接口(kǒu)  ，光纖接口(kǒu)  ，冷源接口(kǒu)等

其它

帶(dài)防(fáng)輻射屏和熱沈(chén)設計

溫控系統

制冷方式(shì)

液氮

液氦

溫控範圍

77K~473K

4.2K~450K

溫控精度(dù)

± 0.1度(dù)

溫度(dù)穩定性(xìng)

± 0.1度(dù)

降溫速度(dù)

常溫降到(dào)77k優(yōu)於25mins

常溫降到(dào)10k優(yōu)於180mins

控制方式(shì)

液氮自動(dòng)流(liú)量控制

壓縮(suō)機控制

光學系統

顯微鏡類型

體式(shì)/單筒(tǒng)/金相顯微鏡

體式(shì)/單筒(tǒng)顯微鏡

移動(dòng)範圍

水平360度(dù)旋轉(zhuǎn)  ，Z軸50.8mm調(diào)焦/定制其它

真空腔觀察窗尺寸(cùn)

2inch

2inch

CCD像素

50W  (模(mó)擬)  /200W  (數字)  /500W  (數字)

探(tàn)針臂

探(tàn)針臂數量

最多6個

X-Y-Z行程

50mm-25mm-25mm

點針精度(dù)

10微米/2微米

漏(lòu)電精度(dù)

10pA/100fA

接口(kǒu)形(xíng)式(shì)

三軸/SMA/K/光纖接口(kǒu)

探(tàn)針

頻率(lǜ)範圍

DC-67G

材質(zhì)

鎢鋼(gāng)  ，鈹銅(tóng)

真空系統

機械泵/分子泵組/離子泵

可選附(fù)件

防(fáng)震桌  ，鍍金卡盤  ，氣敏測試組件等

應用方向(xiàng)

高低溫真空環(huán)境下(xià)的芯片測試
，材料測試  ，霍爾測試
，電磁輸(shū)運特(tè)性(xìng)等

產品特(tè)點

防(fáng)輻射屏和熱沈(chén)設計

液氮自動(dòng)控制系統  ，液氮流(liú)量模(mó)塊和溫度(dù)控制模(mó)塊一起聯動(dòng)共同控制溫度(dù)

降溫速度(dù)快  ，常溫降至(zhì)77k<25mins  ，大大提(tí)高測試效率(lǜ)