RTP-100快速(sù)退火爐

技(jì)術規格 ：
- 溫(wēn)度(dù) ：1200攝氏度(dù) ；
- 升(shēng)溫(wēn)速(sù)率(lǜ) ：150攝氏度(dù)/秒 ；
- 降溫(wēn)速(sù)度(dù) ：200攝氏度(dù)/分鐘 (1000攝氏度(dù)-->400攝氏度(dù)) ；
- 溫(wēn)控均勻(yún)性(xìng) ：≤ 1.5%設定溫(wēn)度(dù) ；
- 加熱方式(shì) ：紅外鹵素燈 ，頂(dǐng)部(bù)及底部(bù)加熱 ；
- 燈管數(shù)量及功率(lǜ) ：18支(zhī)/20千瓦(wǎ) ；
- 腔體冷卻 ：水(shuǐ)冷方式(shì) ；
- 襯底冷卻 ：氮氣吹掃 ；
- 工藝(yì)氣路 ：MFC控制 ，多4路 (氮氣 、氬氣 、氧氣 、氫氮混合氣等) ；
- 主機尺寸及重(zhòng)量 ：505mm x 504mm x 420mm (W x D x H) ，約55Kg ；
 RTP-100快速(sù)退火爐
儀器特點 ：
- 真空(kōng)快速(sù)退火爐 ，有(yǒu)低真空(kōng)型號(10-3 hPa) 、高真空(kōng)型號(10-6 hPa) ；
- 可在不(bù)同氣氛環境下使用 ，如惰性(xìng)氣體 、氧氣 、氫氮混合氣等 ；
- 控制方式(shì) ：SIMATIC , SPS人機界面控制
，7英(yīng)寸觸摸屏 ；
- 可存儲50個(gè)程序 ，每個(gè)程序多分為(wéi)50段控制 ；
- 全自(zì)動智能(néng)控制
，包括(kuò)溫(wēn)度(dù) 、時(shí)間(jiān) 、氣體流量 、真空(kōng)度(dù) 、循環水(shuǐ)均可自(zì)動設置 ；
- 優(yōu)異的溫(wēn)控均勻(yún)性(xìng) ，的工藝(yì)重(zhòng)現(xiàn)性(xìng) ；
- 台式(shì)設計
；
 
應用領域 ：
- 離子注入/接觸退火 ；
- 快速(sù)熱處理(lǐ)(RTP) ，快速(sù)退火(RTA) ，快速(sù)熱氧化(huà)(RTO) ，快速(sù)熱氮化(huà)(RTN) ；
- 可在真空(kōng) 、惰性(xìng)氣氛 、氧氣 、氫氣 、混合氣等不(bù)同環境下使用 ；
- SiAu , SiAl , SiMo合金化(huà) ；
- 低介電(diàn)材料(liào) ；
- 晶體化(huà) ，致密化(huà) ；
- 太陽能(néng)電(diàn)池片(piàn)鍵合 ；
等等...